[问答题] 什么是外延层?为什么硅片上要使用外延层?
[判断题] 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,即外延层。A . 正确B . 错误
[判断题] 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,分为同质外延和异质外延两大类。A . 正确B . 错误
[判断题] 高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。A . 正确B . 错误
[问答题,论述题] 什么是固相外延(SPE)及固相外延中存在的问题?
[填空题] 外延层的迁移率低的因素有原材料纯度();反应室漏气;外延层的晶体();系统沾污等;载气纯度不够;外延层晶体缺陷多;生长工艺条件不适宜。
[问答题] 在双极集成电路制造中,为什么要采用外延和埋层工艺?
[问答题] 什么是硅片的自然氧化层?由自然氧化层引起的三种问题是什么?