[单选题]

光刻加工的工艺过程为：（）

A . ①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗

B . ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散

C . ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

参考答案与解析：

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