[单选题]

在给硅片清洗时,通常将杂志分为三类,包括( )①分子杂质②原子杂质③化学杂质④离子杂质

A.①②④

B.①②③

C.②③④

D.①③④

参考答案与解析:

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[单选题]在给硅片清洗时,通常将杂志分为三类,包括( )①分子杂质②原子杂质③化学杂质④离子杂质A.①②④B.①②③C.②③④D.①③④

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