[填空题]

立式炉的工艺腔或炉管是对硅片加热的场所,它由垂直的()、()和()组成。

参考答案与解析:

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加热炉巡检时,对炉管的要求是()。

[单选题]加热炉巡检时,对炉管的要求是()。A . 黑色或者暗红色、有晃动B . 白色或者黑色、不晃动C . 暗红色或者白色、有晃动D . 暗红色或者白色、不晃动

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    [判断题] 加热炉的炉管都是翅片管。A . 正确B . 错误

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  • 由操作不当引起加热炉炉管损坏的原因有()等。

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  • 立式炉的工艺腔或炉管是对硅片加热的场所,它由垂直的()、()和()组成。