[多选题]

二氧化硅膜的质量要求有()。

A . 薄膜表面无斑点

B . 薄膜中的带电离子含量符合要求

C . 薄膜表面无针孔

D . 薄膜的厚度达到规定指标

E . 薄膜厚度均匀,结构致密

参考答案与解析:

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二氧化硅

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