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集成电路制造工艺员三级
集成电路制造工艺员
[单选题]
下列关于曝光后烘烤的说法正确的是()。
A . 烘烤的目的是除去光刻胶中的水分
B . 烘烤可以减轻曝光中的驻波效应
C . 烘烤的温度一般在300℃左右
D . 烘烤的时间越长越好
参考答案与解析:
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