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[多选题]

晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。

A . 除去光刻胶中剩余的溶剂

B . 增强光刻胶对晶片表面的附着力

C . 提高光刻胶的抗刻蚀能力

D . 有利于以后的去胶工序

E . 减少光刻胶的缺陷

参考答案与解析：

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自动冲洗显影液中加入坚膜剂的作用是

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