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集成电路制造工艺员三级
集成电路制造工艺员
[多选题]
在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的,存在一些空隙,则()。
A . 使薄膜的介电常数变大
B . 可能引入杂质
C . 可能使薄膜层间短路
D . 使薄膜介电常数变小
E . 可能使薄膜厚度增加
参考答案与解析:
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