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集成电路制造工艺员三级
集成电路制造工艺员
[单选题]
为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染,可在靶室前增加一个()或采用无油泵。
A . 液氮冷阱
B . 净化阱
C . 抽气阱
D . 无气泵
参考答案与解析:
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