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集成电路制造工艺员三级
集成电路制造工艺员
[单选题]
刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率,()是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度,并计算这些点的刻蚀速率而得到的。
A . 选择性
B . 均匀性
C . 轮廓
D . 刻蚀图案
参考答案与解析:
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