[单选题]

刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率,()是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度,并计算这些点的刻蚀速率而得到的。

A . 选择性

B . 均匀性

C . 轮廓

D . 刻蚀图案

参考答案与解析:

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