[单选题]

()是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。

A . 刻蚀速率

B . 刻蚀深度

C . 移除速率

D . 刻蚀时间

参考答案与解析:

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()是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。