[单选题]

为了避免（）在经过氯化物等离子体刻蚀之后的残留物使其发生腐蚀，必须在刻蚀完毕之后再增加一道工序来除去这些表面残留物。

A . 多晶硅

B . 单晶硅

C . 铝硅铜合金

D . 铜