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[多选题]

一般来说，溅射镀膜的过程包括（）这几步。

A . 产生一个离子并导向靶

B . 被轰击的原子向硅晶片运动

C . 离子把靶上的原子轰出来

D . 经过加速电场加速

E . 原子在硅晶片表面凝结

参考答案与解析：

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