[多选题]

为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求,金属材料应该满足()。

A . 低电阻率

B . 易与p或n型硅形成欧姆接触

C . 可与硅或二氧化硅反应

D . 易于光刻

E . 便于进行键合

参考答案与解析:

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