[单选题]

在新一代的CMP中,有使用()磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。

A . 二氧化锰

B . 铝

C . 氧化铬

D . 金刚石

参考答案与解析:

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  • 在新一代的CMP中,有使用()磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。