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集成电路制造工艺员三级
集成电路制造工艺员
[单选题]
真空镀膜室内,在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板,用来()。
A . 隔挡气体交换
B . 控制蒸发的过程
C . 辅助热量交换
D . 温度调节
参考答案与解析:
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