微细加工工艺方法

[问答题] 简述微细加工工艺方法。

[填空题] 微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

[名词解释] 微细加工

[填空题] （）是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是当代毫微米加工（纳米加工）技术的基础。

[单选题]微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A . 离子束刻蚀、激光刻蚀B . 干法刻蚀、湿法刻蚀C . 溅射加工、直写加工

[填空题] 微细加工中的三束加工是指（），（），（）。

[判断题] 电火花成型加工适宜加工低刚度工件及微细加工。A . 正确B . 错误

[填空题] 机械加工工艺过程是在（）方法加工零件的工艺过程。

[问答题] 试述切削加工工艺方法类别

[填空题] 用半导体的微细加工技术，在非晶基片上通过使用微细的表面结构，考察了单晶成长方法，并命名为（）