微细加工

[名词解释] 微细加工工艺方法

[问答题] 简述微细加工工艺方法。

[填空题] 微细加工中的三束加工是指（），（），（）。

[判断题] 电火花成型加工适宜加工低刚度工件及微细加工。A . 正确B . 错误

[填空题] 微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

[填空题] （）是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是当代毫微米加工（纳米加工）技术的基础。

[问答题] 微细加工与一般尺度加工的主要不同体现在

[填空题] 用半导体的微细加工技术，在非晶基片上通过使用微细的表面结构，考察了单晶成长方法，并命名为（）

[填空题] 激光光斑的大小可以聚焦到（），可用于精密微细加工。

[单选题]下列那种激光器能量转换效率最高可用于精密微细加工（）。A .二氧化碳激光器B .氩离子激光器C .钕离子激光器D .掺钕钇铝石榴石激光器