[判断题] 离子注入中高能量意味着注入硅片更深处,低能量则用于超浅结注入。A . 正确B . 错误
[问答题,论述题] 什么是离子注入的横向效应?同等能量注入时,As和B哪种横向效应更大?为什么?
[问答题] 往复泵在能量转化过程中,存在哪些能量损失?产生这些损失的原因是什么?
[问答题,论述题] 离子在靶内运动时,损失能量可分核阻滞和电子阻滞,解释什么是核阻滞、电子阻滞?两种阻滞本领与注入离子能量具有何关系?
[填空题] 离心压缩机级内的能量损失主要包括:()损失、()损失和()损失。
[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量
[填空题] 严禁在耙装机耙斗运行范围内进行其他()和()。
[判断题] 离心泵内的能量损失可分为:机械损失、容积损失和水利损失。A . 正确B . 错误
[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量