离子注入中高能量意味着注入硅片更深处，低能量则用于超浅结注入。

[名词解释] 离子注入

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[问答题,论述题] 什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[问答题] 离子注入表面改性

[名词解释] 离子注入的沟道效应

[问答题] 离子注入后为什么要退火？

[判断题] 离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。A . 正确B . 错误

[问答题] 离子注入后为什么要进行退火？

[问答题] 注入离子在耙内的能量损失的过程？