什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？

[问答题] 什么是离子注入时的沟道效应？列举出三种控制沟道效应的方法？

[名词解释] 离子注入的沟道效应

[问答题] 离子注入后为什么要退火？

[问答题] 离子注入后为什么要进行退火？

[问答题,论述题] 什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？

[名词解释] 离子注入

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[判断题] 离子注入中高能量意味着注入硅片更深处，低能量则用于超浅结注入。A . 正确B . 错误

[问答题] 简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？