[判断题] 在半导体产业界第一种类型的CVD是APCVD。A . 正确B . 错误
[问答题,论述题] 简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。
[名词解释] LPCVD(低压CVD)
[问答题] 化学气相沉积(CVD)
[名词解释] PECVD(等离子增强CVD)
[单选题]常压重油掺入原油后,常压重的闪点()A .降低B .不变C .升高
[单选题]常压重油掺入原油后,常压重油的闪点()A .降低B .不变C .升高
[填空题] a-Si:H以及合金材料,用()、热CVD、光CVD等气相生长法可以制造薄膜。
[填空题] 目前常用的CVD系统有()、()和()。