离子注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。

[判断题] 粒子束武器按粒子的性质可分为带电粒子束武器和中性粒子束武器。A . 正确B . 错误

[名词解释] 离子束加工

[判断题] 离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。A . 正确B . 错误

[问答题] 离子束加工原理

[问答题] 离子束的加工方式？

[问答题] 简述离子束加工原理。

[问答题] 离子束分析方法的优缺点？

[问答题] 重离子束有哪些重要特点？

[判断题] 离子束加工必须在真空条件下进行。A . 正确B . 错误

[判断题] 由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比离子束高，但表年粗糙度稍差。A . 正确B . 错误