离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。

[判断题] 离子注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。A . 正确B . 错误

[判断题] 光刻的本质是把电路结构复制到以后要进行刻蚀和离子注入的硅片上。A . 正确B . 错误

[名词解释] 离子注入的沟道效应

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[问答题] 离子束分析方法的优缺点？

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[名词解释] 离子注入

[名词解释] 离子束加工

[判断题] 离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。A . 正确B . 错误

[问答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用？