简述离子注入工艺中退火的主要作用？

[问答题] 离子注入后为什么要退火？

[问答题] 离子注入后为什么要进行退火？

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[名词解释] 离子注入

[多选题] 离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。A . 砷化氢B . 二硼化氢C . 四氟化硅D . 三氟化磷E . 五氟化磷

[问答题] 离子注入表面改性

[问答题] 例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。

[多选题] 离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。A . 砷化氢B . 二硼化氢C . 三氟化硼D . 硅烷E . 氧气

[名词解释] 离子注入的沟道效应