[填空题] 外延生长方法比较多,其中主要的有()外延、()外延、金属有机化学气相外延、分子束外延、()、固相外延等。
[名词解释] 浮生(外延生长)
[问答题,论述题] 什么是固相外延(SPE)及固相外延中存在的问题?
[名词解释] 外延
[判断题] 高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。A . 正确B . 错误
[多选题] 硅外延生长工艺包括()。A . 衬底制备B . 原位HCl腐蚀C . 生长温度,生长压力,生长速度D . 尾气的处理
[名词解释] 外延产品
[名词解释] 外延层
[名词解释] 同质外延
[名词解释] 异质外延