[问答题] 例举在线参数测试的4个主要子系统。
[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量
[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量
[问答题] 例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。
[判断题] 离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。A . 正确B . 错误
[问答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用?
[单选题]离子注入装置的主要部件有()、分析器、加速聚焦系统等。A . 中子源B . 离子源C . 电子源D . 质子源