A . 正确
B . 错误
[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量
[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量
[问答题] 例举离子注入设备的5个主要子系统。
[问答题] 例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。
[判断题] 离子注入是唯一能够精确控制掺杂的手段。A . 正确B . 错误
[问答题] 离子注入后为什么要退火?
[判断题] 移动平均法的缺点之一是容易受现象复杂性影响A . 正确B . 错误