杂质在硅中的扩散方式有哪些？

[填空题] 杂质在硅晶体中的扩散机制主要有两种，分别是（）扩散和（）扩散。杂质只有在成为硅晶格结构的一部分，即（），才有助于形成半导体硅。

[填空题] 在扩散之前在硅表面先沉积一层杂质，在整个过程中这层杂质作为扩散的杂质源，不再有新的杂质补充，这种扩散方式称为：（）

[多选题] 下列扩散杂质源中，（）不仅是硅常用的施主杂质，也是锗常用的施主杂质。A . 硼B . 锡C . 锑D . 磷E . 砷

[单选题]下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。A . NaB . BC . PD . As

[问答题,论述题] 以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。

[填空题] 硅中固态杂质的热扩散需要三个步骤（）、（）和（）。

[问答题] 例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。

[判断题] 在硅中固态杂质的热扩散需要三个步骤：预淀积、推进和激活。A . 正确B . 错误

[问答题] MTBE产品中的杂质有哪些？哪些是有害杂质？哪些是无害杂质？

[问答题] MTBE产品中的杂质有哪些？哪些是有害杂质，哪些是无害杂质？