不正确的刻蚀将导致硅片报废，给硅片制造公司带来损失。

[填空题] 制造电子器件的基本半导体材料是圆形单晶薄片，称为硅片或（）。在硅片制造厂，由硅片生产的半导体产品，又被称为（）或（）。

[填空题] 芯片硅片制造厂可以分为6个独立的生产区：扩散区、（）、刻蚀区、（）、（）和抛光区。

[问答题] 单晶硅硅片的制造过程？

[单选题]大硅片上生长的（）的不均匀和各个部位刻蚀速率的不均匀会导致刻蚀图形转移的不均匀性。A . 薄膜厚度B . 图形宽度C . 图形长度D . 图形间隔

[单选题]沾污引起的电学缺陷引起（），硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本。A . 不会影响成品率B . 晶圆缺陷C . 成品率损失D . 晶圆损失

[判断题] 在集成电路制造工艺步骤中，光刻与刻蚀能把掩膜版上的图形转移到硅片上来。A . 正确B . 错误

[多选题] 净化室将硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如（）的沾污。A . 颗粒B . 金属C . 有机分子D . 静电释放（ESD）E . 水

[问答题] 例举硅片制造厂房中的7种玷污源。

[问答题] 例举并描述金属用于硅片制造的7种要求。

[单选题]在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时，需要将硅片先装入（），然后再装入扩散炉。A . 耐热陶瓷器皿B . 金属器皿C . 石英舟D . 玻璃器皿