化学气相淀积

[问答题] 有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法？

[填空题] 热分解化学气相淀积二氧化硅是利用（）化合物，经过热分解反应，在基片表面淀积二氧化硅。

[名词解释] 物理气相淀积（pvd）

[名词解释] 预淀积

[问答题,论述题] 热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关？淀积速率的测量采用什么办法？

[名词解释] 淀积粘化

[问答题] 淀积层（illuvialhorizon）

[名词解释] 化学气相沉积

[填空题] 二氧化硅的制备方法很多，其中最常用的是高温（）、（）淀积、PECVD淀积。

[问答题] 化学气相沉积（CVD）