晶圆的英文是什么？简述晶圆制备的九个工艺步骤。

[填空题] 晶圆制备的九个工艺步骤分别是（）、整型、（）、磨片倒角、刻蚀、（）、清洗、检查和包装。

[填空题] 晶圆制备中的整型处理包括（）、（）和（）。

[填空题] 晶圆的英文是（），其常用的材料是（）和（）。

[单选题]刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率，（）是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度，并计算这些点的刻蚀速率而得到的。A . 选择性B . 均匀性C . 轮廓D . 刻蚀图案

[单选题]一轴晶光率体的圆切面（）。A . 垂直NoB . 垂直NeC . 垂直Ne’D . 垂直No’

[问答题] 微晶玻璃的制备原理及其工艺过程。

[问答题,论述题] 对RTP来说，很难在高温下处理大直径晶圆片而不在晶圆片边缘造成热塑应力引起的滑移。分析滑移产生的原因。如果温度上升速度加快后，滑移现象变得更为严重，这说明晶圆片表面上的辐射分布是怎样的？

[问答题] 简述非晶氢化氮化硅（α-SiNx：H）薄膜的优点及其制备工艺。

[单选题]二轴晶光率体的光轴面与圆切面为：（）.A . 平行B . 斜交C . 垂直

[问答题] 晶种分解的目的是什么？