A . 磁分析器
B . 正交电磁场分析器
C . 静电偏转电极
D . 束流分析仪
[判断题] 离子注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。A . 正确B . 错误
[问答题] 简述离子束加工原理。
[问答题] 离子束分析方法的优缺点?
[问答题] 重离子束有哪些重要特点?
[单选题]离子束垂直进入均匀的正交磁场后,将同时受到电场力和()的作用。A . 洛仑兹力B . 反向的电场力C . 库仑力D . 重力
[判断题] 由于离子的质量远大于电子,故离子束加工的生产率比离子束高,但表年粗糙度稍差。A . 正确B . 错误
[单选题]为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染,可在靶室前增加一个()或采用无油泵。A . 液氮冷阱B . 净化阱C . 抽气阱D . 无气泵