A . 重离子加速器
B . 热扩散炉
C . 质子分析仪
D . 轻离子分析器
[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量
[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量
[问答题] 离子注入后为什么要进行退火?
[问答题] 离子注入后为什么要退火?
[判断题] 离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。A . 正确B . 错误
[问答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用?
[判断题] 离子注入是唯一能够精确控制掺杂的手段。A . 正确B . 错误