如果淀积的膜在台阶上过度地变薄，就容易导致高的（）、（）或者在器件中产生不希望的（）。

[判断题] 蒸发最大的缺点是不能产生均匀的台阶覆盖，但是可以比较容易的调整淀积合金的组分。A . 正确B . 错误

[问答题,论述题] 热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关？淀积速率的测量采用什么办法？

[名词解释] 预淀积

[多选题] 在半导体工艺中，如果淀积的薄膜不是连续的，存在一些空隙，则（）。A . 使薄膜的介电常数变大B . 可能引入杂质C . 可能使薄膜层间短路D . 使薄膜介电常数变小E . 可能使薄膜厚度增加

[名词解释] 淀积粘化

[问答题] 淀积层（illuvialhorizon）

[判断题] 扩散层离子水化膜变薄时，会导致扩散层变薄。A . 正确B . 错误

[填空题] 在台阶测试中，是根据（）来区分台阶高度。

[名词解释] 化学气相淀积

[填空题] 二氧化硅的制备方法很多，其中最常用的是高温（）、（）淀积、PECVD淀积。