[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量
[问答题] 扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么?与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么?
[多选题] 对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。A . 入射离子的能量B . 入射离子的质量C . 入射离子的原子序数D . 靶原子的质量、原子序数、原子密度E . 注入离子的总剂量
[问答题,论述题] 热退火用于消除离子注入造成的损伤,温度要低于杂质热扩散的温度,然而,杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象,解释其原因。
[判断题] 离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度,因而在几乎所有应用中都优于扩散。A . 正确B . 错误
[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量
[问答题] 例举离子注入设备的5个主要子系统。